Trong sản xuất tấm bán dẫn, quy trình quang khắc là một bước quan trọng, đòi hỏi độ chính xác cao và quyết định năng suất chip. Là “cốt lõi của quá trình phơi sáng và tạo ảnh” trong quy trình chế tạo tấm bán dẫn, quang khắc bao gồm toàn bộ quy trình làm việc—bao gồm phủ quay ly tâm, phơi sáng, phát triển, khắc và làm sạch ướt—và đặt ra các yêu cầu cực kỳ nghiêm ngặt về độ sạch của môi trường, kiểm soát tạp chất, bảo vệ tĩnh điện và khả năng chống hóa chất. Các hạt bụi ở cấp độ micromet, sự di chuyển ion vết và phóng điện tĩnh điện thoáng qua đều có thể trực tiếp gây ra các khuyết tật trên lớp cản quang, sai lệch mẫu, oxy hóa tấm bán dẫn và đoản mạch vi mô trong mạch, dẫn đến việc phải loại bỏ toàn bộ tấm bán dẫn và gây ra tổn thất sản xuất lớn. Nhiều nhà máy sản xuất bán dẫn (FAB) đang gặp khó khăn trong việc cải thiện năng suất của quy trình quang khắc. Ngay cả khi thiết bị, quy trình và các thông số môi trường đều đạt yêu cầu, điểm nghẽn thường nằm ở các vật tư tiêu hao bảo hộ tay tưởng chừng như không đáng kể. Găng tay phòng sạch loại 1000 hoặc găng tay công nghiệp thông thường hoàn toàn không phù hợp với các tiêu chuẩn cực cao của quy trình quang khắc.
Tại sao việc sử dụng găng tay phòng sạch thông thường bị nghiêm cấm tuyệt đối trong quy trình in thạch bản?
Cặn bột gây ô nhiễm chất cản quang.
Lượng ion lưu huỳnh và clorua dư thừa sẽ ăn mòn các mạch điện trên tấm bán dẫn.
Tĩnh điện vượt khỏi tầm kiểm soát, gây ra sự cố hỏng hóc trên một tấm wafer quang khắc chính xác.
Hiện tượng bong tróc và rơi vãi, dẫn đến các khuyết tật do tạp chất trong quá trình sản xuất.
Găng tay nitrile không bột LjieClean Class 100
Công ty Suzhou Leader tập trung vào lĩnh vực sản xuất tấm bán dẫn và giải quyết các vấn đề khó khăn trong quy trình khắc quang, chúng tôi đã phát triển găng tay nitrile chuyên dụng loại 100 không bột, ít khí thải, đáp ứng hoàn hảo các yêu cầu sản xuất của toàn bộ quy trình khắc quang tấm bán dẫn, trở thành vật tư bảo hộ được ưa chuộng cho nhiều nhà máy sản xuất và các công ty đóng gói và kiểm tra tấm bán dẫn.
1. Quy trình không dùng bột dựa trên diclorua: không gây ô nhiễm bột trong quá trình quang khắc.
Sử dụng quy trình tinh chế clo hóa chuyên dụng cho chất bán dẫn, phương pháp này không cần thêm bất kỳ chất phụ gia nào như bột talc, tinh bột ngô hoặc dầu silicon trong suốt toàn bộ quy trình. Nó đảm bảo quá trình ứng dụng diễn ra suôn sẻ, loại bỏ các hạt bột và cặn dầu silicon gây ô nhiễm chất cản quang ngay từ nguồn, từ đó giải quyết hoàn toàn các khuyết tật do hạt lạ trong quá trình quang khắc.
2. Quá trình rửa bằng nước siêu tinh khiết nhiều giai đoạn giúp đạt được hàm lượng lưu huỳnh, clo và ion thấp.
Thông qua nhiều chu kỳ rửa sâu bằng nước tinh khiết, các chất phụ gia nguyên liệu và cặn bẩn trên bề mặt được loại bỏ. Hàm lượng lưu huỳnh, clo và các ion kim loại hòa tan được kiểm soát chặt chẽ, dẫn đến hàm lượng NVR (cặn không bay hơi) thấp. Điều này ngăn ngừa quá trình oxy hóa wafer, ăn mòn lớp phủ và các khuyết tật trong quá trình khắc, giúp găng tay hoàn toàn tương thích với các quy trình in thạch bản đòi hỏi khắt khe đối với wafer 8 và 12 inch.
3. Bảo vệ chống tĩnh điện (ESD) được cải tiến trong khuôn để bảo vệ các tấm bán dẫn nhạy cảm với tĩnh điện.
Khác với các loại găng tay chống tĩnh điện bán sẵn trên thị trường với lớp phủ phun tạm thời, Gonars sử dụng công nghệ điều chỉnh chống tĩnh điện trong khuôn trên vật liệu nền nitrile. Điều này đảm bảo điện trở bề mặt ổn định và đồng nhất, liên tục tiêu tán điện tích tĩnh trong suốt toàn bộ quá trình để ngăn ngừa sự tích tụ tĩnh điện có thể gây hỏng lớp cản quang và làm hư hại các mạch điện tử chính xác trên wafer. Sản phẩm phù hợp cho các bước cốt lõi trong quá trình in thạch bản như phơi sáng và phát triển.
4. Thiết kế linh hoạt và vừa khít, phù hợp cho các thao tác chính xác ở cấp độ micromet.
Chất liệu găng tay mềm dẻo và ôm sát các đường cong của bàn tay. Với thiết kế vân chống trơn trượt ở đầu ngón tay, găng tay nhẹ và không cồng kềnh, lý tưởng cho các thao tác chính xác như xử lý tấm bán dẫn quang khắc, gỡ lỗi thiết bị và kiểm tra chính xác. Găng tay cho phép chuyển động không bị hạn chế và ngăn ngừa trượt, giảm thiểu hiệu quả thiệt hại do va chạm vô tình trong quá trình thao tác bằng tay. Ngoài ra, găng tay còn có khả năng chống lại dung môi quang khắc và axit, kiềm nhẹ, và vẫn bền bỉ mà không bị lão hóa hoặc rách ngay cả khi sử dụng lâu dài.
5
✅ Bao bì hút chân không hai lớp giúp loại bỏ sự lây nhiễm thứ cấp
Sản phẩm hoàn thiện được đóng gói trong toàn bộ quy trình tại phòng sạch cấp 100 bằng bao bì hút chân không hai lớp, giúp cách ly hoàn toàn chúng khỏi bụi và hơi ẩm trong quá trình bảo quản và vận chuyển. Không có sự nhiễm bẩn thứ cấp nào khi mở bao bì, cho phép chúng được sử dụng ngay lập tức trong phòng sạch in thạch bản cấp 100.
Thời gian đăng bài: 23/7/2026